Alle/products/full-automatic-dispensing-machine/semiconductorEFEM-adaptive Oblatenniveau automatische dispensierende Maschine FAD5100S-WH

Hopräzisionsoblatenverwaltungslösung
(SECS/GEM Anpassung) reby Oblatenvereinbarungsantwort-Software durch das Ergebnis der Überprüfung für die Produktion, Leiste kartografisch darstellend

・ Die Hochleistungsanwendung durch nichts hört aufeinander folgende Bewegung auf
・ Die Hochleistungsanordnung durch nichts hört aufeinander folgende Bewegung auf:
 HIMMEL-Festnahmenfunktion von Mu
・ Ich automatisiere das Management der Menge der Anwendung: DVM Funktion
・ Eine ideale "Anwendungsmusterblattlinie" wird durch die leere Vermeidung gebildet: MCD Funktion [PAT.P]
・ Ich verhindere Fehlerhaftkeit in großen Mengen: AFC-Funktion
・Die Oblate, die Funktionsaufstellung kartografisch darstellt
EFEM und die ganze verbundene automatische Produktion sind möglich
・Oblate, FOUP Ähnlichkeit
・Oblatenfunktion der kartografisch darstellenden
・(SECSGEM Ähnlichkeit) des Ergebnisses kartografisch wiederdarstellend ※Auswahl

Mit EFEM (Ausrüstungsfront-End-Modul)
EFEM ist die Straße der Oblate, eines ausgeladen werdenden Modulapparats, und es ist automatisch und nimmt eine Oblate aus dem Behälter genannt einen Reifen (FOUP: Vorderseite, die Vereinigte Schote Öffnet), und die Oblatenkassette, die eine Oblate hält, während man, den Standard des sauberen Zimmers behält, und trägt eine Rolle, um zum Prozessgerät zu befördern.

SPEZIFIKATIONS-Umrissspezifikationen

Name
Die ganze automatische Oblatenniveauzuführenmaschine FAD5100S-WH
Modell
FAD5100S-WH
Entladedruckeinstellung
PC/PLC Kontrolle (SMEMA Anpassung)
Anwendungsarbeit
12 "Oblate, 8" Oblate