・ Die Hochleistungsanwendung durch nichts hört aufeinander folgende Bewegung auf
・ Die Hochleistungsanordnung durch nichts hört aufeinander folgende Bewegung auf:
HIMMEL-Festnahmenfunktion von Mu
・ Ich automatisiere das Management der Menge der Anwendung: DVM Funktion
・ Eine ideale "Anwendungsmusterblattlinie" wird durch die leere Vermeidung gebildet: MCD Funktion [PAT.P]
・ Ich verhindere Fehlerhaftkeit in großen Mengen: AFC-Funktion
・Die Oblate, die Funktionsaufstellung kartografisch darstellt
・
EFEM und die ganze verbundene automatische Produktion sind möglich
・Oblate, FOUP Ähnlichkeit
・Oblatenfunktion der kartografisch darstellenden
・(SECSGEM Ähnlichkeit) des Ergebnisses kartografisch wiederdarstellend ※Auswahl
Mit EFEM (Ausrüstungsfront-End-Modul)
EFEM ist die Straße der Oblate, eines ausgeladen werdenden Modulapparats, und es ist automatisch und nimmt eine Oblate aus dem Behälter genannt einen Reifen (FOUP: Vorderseite, die Vereinigte Schote Öffnet), und die Oblatenkassette, die eine Oblate hält, während man, den Standard des sauberen Zimmers behält, und trägt eine Rolle, um zum Prozessgerät zu befördern.